水下能谱仪和波谱仪有什么区别?
更新时间:2022-10-25 点击次数:1329
水下能谱仪是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线,根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、linescan、mapping分析。
水下能谱仪能够分析原子序数大于5的元素,波谱仪可以分析原子序数从4~92之间的所有元素;EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析;点分析得到一点的所有元素;线分析每次对的一条线做一种元素分析,多次扫描得到所有元素的线分布;面分析对一个面内的所有元素分析,测得元素含量是测量面范围的平均值。
当X射线光子进入检测器后,在Si(Li)晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的平均能量ε是一定的(在低温下平均为3.8ev),而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε,因此,入射X射线光子的能量越高,N就越大。
利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对,经过前置放大器转换成电流脉冲,电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器,脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数,这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。
而波谱仪是利用波谱法对物质的成分和结构进行分析的仪器,包括X射线波谱仪,核磁共振波谱仪等。波谱仪的优点是波长分辨率高,但由于结构特点,波谱仪想要有足够的色散率,其聚焦圆的半径就要足够大,而这会导致X射线光量子的收集率降低。