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水下能谱仪的无标样定量分析操作

更新时间:2022-07-27      点击次数:915
  水下能谱仪采用单色光源(如X射线、紫外光)或电子束去照射样品,使样品中电子受到激发而发射出来,然后测量这些电子的产额(强度)对其能量的分布,从中获得有关信息。
 
  水下能谱仪可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息,可对非均相覆盖层进行深度分布分析,了解元素随深度分布的情况,也可对元素及其化学态进行成像,给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像等。
 
  除氢和氦元素之外,可以分析所有其他元素,能直接测定来自样品的单个能级发射的光电子能量分布,直接得到电子能级结构的信息。从能量范围来看,电子能谱提供的信息可视为“原子指纹”,能测定原子价层电子和内层电子轨道,提供有关化学键方面的信息。而相邻元素的同种能级的谱线相隔甚远,相互干扰少,元素定性分析的标识性强。
 
  电子能谱分析是一种无损伤分析,电子能谱分析是一种高灵敏度超微量表面分析技术。分析所需试样量约10-8g即可,灵敏度可达10-18,样品分析深度为2nm。
 
  能谱具有操作简单、分析速度快以及结果直观等特点,重要的是其价格相比于高大上的电镜来说更为低廉,因此能谱也成为了目前电镜的标配。但很多时候并没有相应标样,也就用数据库里的标样数据直接用来定量,称为无标样定量。
 
  虽然无标样定量分析方法现在无国家标准,但在不平试样、粉体试样及要求不高的一般分析研究中,应用还比较广泛,现在正在考虑制定EDS无标样定量分析方法国家标准。
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