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水下能谱仪和数据系统的关系

发布时间:2022-06-22      点击次数:46
  水下能谱仪是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线,根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、linescan、mapping分析。
 
  水下能谱仪能够分析原子序数大于5的元素,波谱仪可以分析原子序数从4~92之间的所有元素;EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析;点分析得到一点的所有元素;线分析每次对的一条线做一种元素分析,多次扫描得到所有元素的线分布;面分析对一个面内的所有元素分析,测得元素含量是测量面范围的平均值。
 
  EDS在测试轻元素(C、O、N等)时,由于这些元素的能量较低,有时很难检测到,可以通过增加采集时间、降低加速电压(元素临界激发能2~3倍)并使用大孔径光阑。
 
  电子能谱仪一般由真空系统、激发源(X射线光源、UV光源、电子枪)、电子能量分析器、检测器和数据系统,以及其他附件等构成。能量分析器用于在满足一定能量分辨率,角分辨率和灵敏度的要求下,析出某能量范围的电子,测量样品表面出射的电子能量分布。
 
  由于电子能谱检测的电子流非常弱,现在一般采用电子倍增器来测量电子的数目。电子倍增器主要有单通道电子倍增器和多通道检测器两种类型。电子能谱分析涉及大量复杂的数据的采集、储存、分析和处理,数据系统由在线实时计算机和相应软件组成,它已成为现代电子能谱仪的一个基本部分。
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